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在激光发明30余年后，随着微加工技术的进步，以及对激光物理研究与激光器件的深入了解，各类微型半导体激光器相继被开发出来，包括微盘激光器、光子晶体缺陷态激光器和纳米线激光器。1992年，美国贝尔实验室成功实现了首个微盘激光器，利用微盘中的回音壁模式，让光在微盘内反复反射，产生共振反馈并实现激射。1999年，美国加州理工大学通过在二维光子晶体中引入点缺陷来约束光，实现了首个光子晶体缺陷态激光器。2001年，美国加州大学伯克利分校首次利用纳米线的端面作为反射镜，成功实现了半导体纳米线激光器。这些激光器将特征尺寸降低至单个真空波长的量级，然而由于光学衍射极限的限制，这些基于介电谐振腔的激光器难以进一步缩小。
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