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在实验中,研究团队将一块锆硅硫化物冷却至-268.9℃左右——仅比绝对零度高几度,然后将其置于实验室强大的磁场中,并用红外光照射,随后分析材料反射的光。借助这一名为磁光光谱学的技术,邵垠铭等人观测到了锆硅硫化物晶体内准粒子的性质。
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据披露,中微公司在新产品开发方面取得了显著成效,近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备,目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中,LPCVD薄膜设备累计出货量已突破100个反应台,其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进。同时,公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段。
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