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经排查，因喷淋阀组故障，技术人员虽第一时间关闭主管道阀门，但管道内仍有余水，导致喷淋滴水时间较长。后续将对江山大街隧道喷淋阀组进行全线检测维修。现场为喷淋阀组故障，并非网传隧道漏水、水管破裂，请市民放心通行。
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据披露，中微公司在新产品开发方面取得了显著成效，近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中，LPCVD薄膜设备累计出货量已突破100个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进。同时，公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段。
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