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爱因斯坦受到普朗克的黑体辐射定律启发，于1917年提出受激辐射概念，这一发现为激光的发明奠定了基础。1954年，美国科学家汤斯等首次报道了利用受激辐射实现的微波振荡器，即微波激射器。他们采用激发态的氨分子作为增益介质，利用长约12厘米的微波谐振腔提供反馈，实现了波长约12.56厘米的微波激射。微波激射器被视为激光器的前身，但激光器能够产生更高频率的相干辐射，具有更小体积、更高强度、更高信息载量等优势。
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