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1960年，美国科学家梅曼发明了第一台激光器。他使用一根长约1厘米的红宝石棒作为增益介质，棒的两端镀银，充当反射镜以提供光学反馈。在闪光灯激发下，该装置产生了波长为694.3纳米的激光输出。值得注意的是，微波激射器的尺寸与其波长在同一量级。按照这种比例关系，激光器的尺寸理应可以做到约700纳米。然而，第一台激光器的尺寸远远大于此，超过了4个数量级。将激光器缩小到与波长相当的尺寸，耗费了大约30年时间，而突破波长限制，实现深亚波长的激光器，则用了半个世纪。
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