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在样品转移过程中,复合连杆机构如同交接“接力棒”的手臂,具有传动链复杂、三个自由度的位移偏差测量和调试难度高等特点,是转移机构的重要组成部分。研制团队提出了双向高精度控制及测试技术,实现了复合连杆机构的展开和收合的运动精度、稳定性的控制,确保了位移偏差在1%以内。
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