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来源:说IT资讯网 作者:admin 日期:2025-06-15 07:24:25 点击:81508次

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“与铌酸锂类似,钽酸锂也可以被称为‘光学硅’,我们与合作者研究证明,单晶钽酸锂薄膜同样具有优异的电光转换特性,甚至在某些方面比铌酸锂更具优势。”论文共同通讯作者、中国科学院上海微系统所研究员欧欣说,更重要的是,硅基钽酸锂异质晶圆的制备工艺与绝缘体上硅晶圆制备工艺更加接近,因此钽酸锂薄膜可实现低成本和规模化制造,具有极高的应用价值。

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