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科技日报北京7月2日电 (记者刘霞)美国加州大学圣迭戈分校科学家领导的小组开发出一款柔软且有弹性的电子设备。当佩戴在皮肤上时,这款设备能模拟皮肤上感受到的压力或振动。最新研究为开发用于虚拟现实、医疗假肢和可穿戴技术等应用的先进触觉设备奠定了基础。相关论文发表于新一期《科学·机器人》杂志。
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据披露,中微公司在新产品开发方面取得了显著成效,近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备,目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中,LPCVD薄膜设备累计出货量已突破100个反应台,其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进。同时,公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段。
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