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铟硒半导体,可以弯曲、扭转、压缩而不易破碎,不仅具有传统半导体材料优异物理性能,还可像金属一样塑性变形和机械加工。但铟硒晶体缺陷密度极高,严重影响半导体器件性能和材料应用。空间微重力环境下产生的“非接触效应”和稳定的固液界面可解决这一难题。
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据披露,中微公司在新产品开发方面取得了显著成效,近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备,目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中,LPCVD薄膜设备累计出货量已突破100个反应台,其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进。同时,公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段。
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