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大佛寺石窟中的大佛洞、千佛洞、罗汉洞营建于初唐,在武周时期达到极盛,中晚唐及之后略有补凿,营建工程基本结束。宋元明清历朝都有修补或装饰,并建有保护大石窟的设施。唐代和明代窟前皆有护楼,现存五层砖木结构护楼为清康熙四十二年(1703年)修建。
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