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【环球时报报道 记者 刘扬】12月24日，美国国家航空航天局（NASA）的帕克太阳探测器将成为迄今距离太阳最近的人造物体，对太阳开展最精确探测。美国媒体近日纷纷以“创造历史”“里程碑意义”等措辞来形容帕克太阳探测器的此次成果。
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据披露，中微公司在新产品开发方面取得了显著成效，近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中，LPCVD薄膜设备累计出货量已突破100个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进。同时，公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段。
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