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据披露，中微公司在新产品开发方面取得了显著成效，近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中，LPCVD薄膜设备累计出货量已突破100个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进。同时，公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段。
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此前，研究人员开发了一种表面，其特征是毫米级的波峰和波谷，且波峰和波谷之间的角度较小。最新研究中，他们在平坦的波谷上涂了一层仅600微米厚的氧化石墨烯薄膜，结霜减少了100%。新表面由微小的凸起组成，波峰之间的距离为5毫米。
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