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此前最小步行机器人的直径介于40微米到70微米之间，但新衍射机器人的直径仅为2微米到5微米之间。实验显示，在磁铁的精准操控下，这些机器人能像尺蠖一样在坚硬的表面蠕动，也能在液体中自由“游泳”。较大机器人的行走速度为16微米/秒，而较小机器人的行走速度则高达34微米/秒，均超越以往的微型机器人。
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